| 主权项 |
1.一种测量头，具有一个光源，一个照明镜组，以一预定的到达一个贴在测量平台上的被测表面上的距离，按照一个预定大小的投射角度进行照射，还具有一个测量镜组，其物镜能接收与被测表面垂直线成一狭小角度并从被测表面上返回的测量光束，使它通过一个光波导管，射到一个光电变换装置，特别是分光计上，与其耦合，其特征在于：所说的照明镜组是由在光源(3)的光轴(20)上设置一个由两个与测量平台(1)平行并对准的环形曼金反射镜(11，14)组成的装置，两个曼金反射镜的凹面相对，而与曼金反射镜离开一段距离设置的光源(3)则通过一个同轴的、能消除曼金反射镜色差的消球差镜(25)投射在被测表面(2)上成象，所说的测量镜组是由同时在曼金反射镜(11、14)的光轴(20)上设有物镜(41)的入射透镜(40)，在物镜入射透镜(40)的焦点上设有一个测量光栏(45)，光波导管(4)就与这个光栏耦合，其位置关系为消球差镜(25)自身突出到两个曼金反射镜(11、14)的中间空间中，在其光轴上有一个通道开孔，在该孔内，一个面对消球差镜(25)、在光学上能耦合起来的物镜(41)伸了进去，该物镜在与被测表面相对的前端为一球面的光入射面(40)而在其后端则有测量光栏(45)，而测量光栏(45)通过一个转向棱镜(44)与物镜(41)的后端(43)耦合。 |
