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发明名称 SPINNING DEVICE FOR PROCESSING A SUBSTRATE, IN PARTICULAR A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0157675(B1) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 EP19850400430 申请日期 1985.03.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 ARII, KATSUYUKI
分类号 B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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