发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING FINE PARTICLE FILM
摘要
申请公布号 JPH03138355(A) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 JP19890275281 申请日期 1989.10.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI SHIGEO;ADACHI MASAAKI
分类号 C23C14/24;C23C24/04 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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