| 摘要 |
<p>Die Partialdruckmesszelle besteht aus der Kombination einer magnetisch geführten Kaltkathodenentladung zur Ionisation des Restgases (Ionenquelle) mit einer magnetischen Trennung der Ionenmassen (Massenspektrometer). Dabei wird die Entladung durch ein geeignetes inhomogenes Magnetfeld derart geformt, dass die Streuung der Ionenenergie genügend klein ist, um die für eine Partialdruckmessung (bei der Lecksuche) erforderliche Auflösung der Massentrennung zu gewährleisten. Die Beschleunigung der Ionen erfolgt ausschliesslich im elektrischen Feld des Entladungsraumes. Die spezielle Form der verwendeten Kaltkathodenentladung beeinflusst das elektrische Feld nun derart, dass die Energie der emittierten Ionen niedrig und praktisch unabhängig von der Entladungsspannung bleibt. Wegen der niedrigen Ionenenergie wird für die Massentrennung nur ein bescheidenes Magnetfeld benötigt, weshalb das Massenspektrometer und die Ionenquelle mit der magnetischen Entladungsführung in ein einziges Magnetsystem integriert werden können.</p> |
