发明名称
摘要
申请公布号 JPH0359635(U) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 JP19890119671U 申请日期 1989.10.16
申请人 发明人
分类号 G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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