发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03137581(A) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 JP19890275431 申请日期 1989.10.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KASHIMOTO KOJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/3185;G11C11/401;G11C29/00;G11C29/50;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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