METHOD FOR DETERMINING INTERFACE PROPERTIES OF SEMICONDUCTOR MATERIALS BY PHOTOREFLECTANCE,申请号EP19900113968-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR DETERMINING INTERFACE PROPERTIES OF SEMICONDUCTOR MATERIALS BY PHOTOREFLECTANCE
摘要
申请公布号	EP0409270(A3)	申请公布日期	1991.06.12
申请号	EP19900113968	申请日期	1990.07.20
申请人	POLLAK, FRED H.;SHEN, HONG-EN;LUCOVSKY, GERALD	发明人	POLLAK, FRED H.;SHEN, HONG-EN;LUCOVSKY, GERALD
分类号	H01L21/66;G01N21/17;G01N21/55;G01N21/63;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/55	主分类号	H01L21/66
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