发明名称 PATTERN FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03136327(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890273712 申请日期 1989.10.23
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 TANAKA ICHIRO;TANETANI MOTOTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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