发明名称 MAGNETICALLY CONNECTED TWO-SHAFT TYPE ROBOT
摘要
申请公布号 JPH03136779(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19900280531 申请日期 1990.10.18
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 ROBAATO BII ROORANSU
分类号 B25J9/06;B25J9/10;B25J9/12;B25J19/00;B25J21/00;F16D7/02;F16H49/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
地址