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发明名称 REMOCAO DE CONTAMINANTES DE SUPERFICIE ATRAVES DE IRRADIACAO DE UMA FONTE DE ELEVADA ENERGIA
摘要
申请公布号 BR8907529(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 BR19898907529 申请日期 1989.07.07
申请人 AUDREY C. ENGELSBERG 发明人 AUDREY C. ENGELSBERG
分类号 H01L21/302;B08B7/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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