| 发明名称 |
VAPOR GROWTH METHOD FOR ORGANIC METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03137093(A) |
申请公布日期 |
1991.06.11 |
| 申请号 |
JP19890273412 |
申请日期 |
1989.10.20 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
IKEDA MASAKIYO;KITAMURA KAZUNARI;KATOU SADAHIRO |
| 分类号 |
C30B25/08;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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