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发明名称 FORMATION OF P-N JUNCTION
摘要
申请公布号 JPH03136235(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890274280 申请日期 1989.10.21
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;SUTAAROI SANGYO KK 发明人 SATO MAMORU;TOKUMARU YOZO;SHIMOIYA YOSHINOBU
分类号 C01B21/076;C01B21/072;C23C14/48;H01L21/203;H01L21/265 主分类号 C01B21/076
代理机构 代理人
主权项
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