| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03136320(A) |
申请公布日期 |
1991.06.11 |
| 申请号 |
JP19890275191 |
申请日期 |
1989.10.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MIENO FUMITAKE;TSUKUNE ATSUHIRO;MIYATA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
