发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03136324(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890275221 申请日期 1989.10.23
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE MASAHIDE
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址