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发明名称 ELEMENT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03136228(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890246124 申请日期 1989.09.21
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 ABE KEIZO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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