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经营范围
发明名称
SURFACE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SLICE
摘要
申请公布号
JPH03135027(A)
申请公布日期
1991.06.10
申请号
JP19900270656
申请日期
1990.10.11
申请人
WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH
发明人
GERUHARUTO BUREEMU;HEREENE PURITSUGE;RAINORUTO BUAARITSUHI
分类号
H01L21/322
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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