发明名称 SURFACE TREATMENT OF SEMICONDUCTOR SLICE
摘要
申请公布号 JPH03135027(A) 申请公布日期 1991.06.10
申请号 JP19900270656 申请日期 1990.10.11
申请人 WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH 发明人 GERUHARUTO BUREEMU;HEREENE PURITSUGE;RAINORUTO BUAARITSUHI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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