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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03134166(A) 申请公布日期 1991.06.07
申请号 JP19890272993 申请日期 1989.10.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KUBO KENICHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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