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发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03134167(A)
申请公布日期
1991.06.07
申请号
JP19890272995
申请日期
1989.10.20
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
KUBO KENICHI
分类号
C23C14/34;C23C14/35;C23F4/00;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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