| 发明名称 |
CHAMBER FOR LIFTING SINGLE CRYSTAL SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03131590(A) |
申请公布日期 |
1991.06.05 |
| 申请号 |
JP19890269152 |
申请日期 |
1989.10.18 |
| 申请人 |
KOMATSU DENSHI KINZOKU KK |
发明人 |
IZAWA JUNJI;YATSURUGI YOSHIFUMI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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