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发明名称
INTEGRATED TRENCH-TRANSISTOR STRUCTURE AND FABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号
EP0346632(A3)
申请公布日期
1991.06.05
申请号
EP19890108839
申请日期
1989.05.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
DAVARI, BIJAN;HWANG, WEI;LU, NICKY C.
分类号
H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/82
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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