发明名称 INTEGRATED TRENCH-TRANSISTOR STRUCTURE AND FABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP0346632(A3) 申请公布日期 1991.06.05
申请号 EP19890108839 申请日期 1989.05.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DAVARI, BIJAN;HWANG, WEI;LU, NICKY C.
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/82 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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