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发明名称 Apparatus for controlling fumes formed during washing of semiconductor materials
摘要
申请公布号 GB2238610(A) 申请公布日期 1991.06.05
申请号 GB19900024307 申请日期 1990.11.08
申请人 * SEIICHIRO AIGO 发明人 SEIICHIRO AIGO
分类号 B08B15/04;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B15/04
代理机构 代理人
主权项
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