| 发明名称 |
A SURFACE INSPECTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0360232(A3) |
申请公布日期 |
1991.06.05 |
| 申请号 |
EP19890117323 |
申请日期 |
1989.09.19 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
FUKAZAWA, CHIAKI;AIZAWA, KENJI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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