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发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0363978(A3) 申请公布日期 1991.06.05
申请号 EP19890119055 申请日期 1989.10.13
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 UETANI, YASUNORI;HANABATA, MAKOTO;NAKANISHI, HIROTOSHI;KUWANA, KOJI;OI, FUMIO
分类号 G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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