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发明名称 SPECIMEN EXAMINATION METHOD FOR A CORPUSCULAR-BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0379865(A3) 申请公布日期 1991.06.05
申请号 EP19900100170 申请日期 1990.01.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR.-DIPL.-PHYS.;LISCHKE, BURKHARD, DR.-DIPL.-ING.
分类号 H01J37/147;G01R31/302;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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