光接收元件

摘要

一种光接收元件包括基底和光接收层，该接收层有非晶材料光敏层和表面层，该非晶材料包含硅原子并至少包含锗或锡原子，所说表面层是至少具有最外层的耐磨层和内层防反射层的多层结构，该基底有由球形凹痕构成的不平整表面。该元件克服了非晶硅作光接收层的普通光接收元件的所有问题，特别有效地防止了因干涉现象而在形成的图象上产生干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉的情况下也能形成质量极好的可见光图象。

主权项

1.一种光接收元件，包括一个基底和一个位于所述基底表面上的光接收层，该光接收层具有一个由非晶材料组成的光敏层和一个表面层，该非晶材料包含硅原子并且至少包含或者锗原子或者锡原子，所说的表面层具有多层结构，其特征在于所说的基底具有由球形凹痕构成的不平整表面，并且该多层结构至少具有最外层的耐磨层和内层的防反射层。