| 发明名称 |
MASS PRODUCTION OF INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03132061(A) |
申请公布日期 |
1991.06.05 |
| 申请号 |
JP19890270608 |
申请日期 |
1989.10.18 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KAZAMI AKIRA;YAMAGISHI MASAKAZU;ISHIHARA SUMIO;TAKAHASHI KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L23/50;H05K1/00;H05K1/02;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L23/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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