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发明名称 METHOD FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR CRYSTAL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03130661(A) 申请公布日期 1991.06.04
申请号 JP19890268779 申请日期 1989.10.16
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 MOMOI HAJIME;KATAGIRI KEIJI
分类号 G01N31/00 主分类号 G01N31/00
代理机构 代理人
主权项
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