发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH03130638(A) 申请公布日期 1991.06.04
申请号 JP19890270079 申请日期 1989.10.16
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 ONO MASAHIRO;ITO TAKESHI;KASE TOSHIYUKI
分类号 G01J9/02;G01M11/00;G01M11/02 主分类号 G01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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