发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03131037(A) 申请公布日期 1991.06.04
申请号 JP19890269391 申请日期 1989.10.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 GOTO HIROSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址