发明名称 PROBE HEAD OF THREE-DIMENSIONAL MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03130601(A) 申请公布日期 1991.06.04
申请号 JP19890268437 申请日期 1989.10.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ARIKADO KAZUO
分类号 G01B5/20;G01B5/012 主分类号 G01B5/20
代理机构 代理人
主权项
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