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发明名称 PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03129846(A) 申请公布日期 1991.06.03
申请号 JP19890269611 申请日期 1989.10.16
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATANO HIROMI
分类号 G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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