发明名称 DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH03129730(A) 申请公布日期 1991.06.03
申请号 JP19890253441 申请日期 1989.09.28
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址