发明名称 |
PIEZOELECTRIC-HYDRAULIC ACTUATOR DEVICE WITH DISPLACEMENT SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03129102(A) |
申请公布日期 |
1991.06.03 |
申请号 |
JP19890268316 |
申请日期 |
1989.10.16 |
申请人 |
TOTO LTD |
发明人 |
TSUTSUI OSAMU;YOSHIDA TAKAO;KUWABARA HIDEHIKO;INOUE SHOJI |
分类号 |
F15B9/03;F15B7/00;F15B7/08;F15B15/28;G05D3/00;H01L41/09 |
主分类号 |
F15B9/03 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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