发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03129739(A) 申请公布日期 1991.06.03
申请号 JP19900024954 申请日期 1990.02.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIMIZU NORITOMO;MIZUNO BUNJI;AKIYAMA SHIGENOBU;TSUJI KAZUHIKO
分类号 H01L21/322;H01L21/265 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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