发明名称 |
FORMATION OF INDIUM OXIDE-TIN OXIDE CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03129608(A) |
申请公布日期 |
1991.06.03 |
申请号 |
JP19890267078 |
申请日期 |
1989.10.13 |
申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
NATE TATSUO;KISHI TOSHITO;HINOSHITA YOKO |
分类号 |
C23C14/08;H01B5/14;H01B13/00 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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