| 发明名称 |
METHOD FOR ENGRAVING FINE PARALLEL LINE IN SEMICONDUCTOR ELECTRONIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03129822(A) |
申请公布日期 |
1991.06.03 |
| 申请号 |
JP19900164347 |
申请日期 |
1990.06.25 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELETTRONICA SPA |
发明人 |
RUCHIO KORONBO;NADEIA IAJI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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