发明名称 INSPECTION APPARATUS OF BONDING STATE OF LEAD AT TAB
摘要
申请公布号 JPH03129749(A) 申请公布日期 1991.06.03
申请号 JP19890178996 申请日期 1989.07.13
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 FUKUCHI YASUHIKO
分类号 H01L21/60;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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