发明名称 金属管氧化处理装置
摘要 本发明系特别有关对用于超高洁净之配管系统及超高真空之装置的金属管施行钝化处理的金属管氧化处理装置。在本发明之金属管氧化处理装置中,由于使支持体之保持部成管状体,又于其外周设有推拔部,且以可移位方式装着有弹簧,因此,即使不锈钢管之内径有差异,也可容易地以支持部支持不锈钢管。又,即使不锈钢管之长度有差异,也能使支持体持续压着于不锈钢管。使由被处理管扩散至其外部之氧化性气体能够不与被处理管接触而被排出至氧化处理炉之外部。
申请公布号 TW159219 申请公布日期 1991.06.01
申请号 TW079109292 申请日期 1990.11.02
申请人 大阪氧气工业股份有限公司 发明人 大见忠弘;中原文生;太田荣治;仲原喜行;阪中隆;林茂树
分类号 C23F 主分类号 C23F
代理机构 代理人 周良谋 新竹巿林森路二七八号十二楼之一
主权项 1﹒一种金属管氧化处理装置,包含:一氮化处理炉,具有用以将情性气世导入至内部的惰性气体导入口,和用以将惰性气体排出至外部的惰性气体排气口;一第一中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之一端,同时将气体由该式化处理炉外部均等地导入被处理管内;以及一第二中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之另一端,同时将气体由被处理管内排出至氧化处理炉外部;其特征为:便在该第一中空支持体及该第二中空支持体之被处理管的支持部成管状体,且于该管状体之外周形成有外径朝前端逐渐减小的推拔部,又将弹簧装着于该第二中空支持体之适当位置,以使该第二中空支体可沿被处理管之纵长方向移位。2﹒一种金属管氧化处理装置,包含:一氧化处理炉,具有用以将惰性气体导入至内部的惰性气体玮入口,和用以将惰性气体排出至外部的惰性气体排气口;一第一中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之一端,同时将气体由该氧化处理炉外部均等地导入被处理管内;以及一第二中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之另一端,同时将气体由被处理管内排出至氧化处理炉外部;其特征为:使在该第一中空支持体及该第二中空支持体之被处理管的支持部成管状体,且于该管状捏之外周形成有外径朝前端逐渐减小的推拔部;于该第一中空支持体之管状体的外侧设有包覆该管状体之覆管,且使由该管状体和该覆管所形成之空间与氧化处理炉之外部连通。3﹒一种金属管氧化处理装置,包含:一氧化处理炉,具有用以将惰性气体导入至内部的惰性气体导入口,和用以将惰性气体排出至外部的惰性气体排气口;一第一中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之一端,同时将气体由该氧化处理炉外部均等地导入被处理背内;以及一第二中空支持体,于该氧化处理炉内用以支撑被处理管之另一端,同时将气体由被处理管内排出至氧化处理炉外部;其特征为:使在该第一中空支持体及该第二中空支持体之被处理管的支持部成管状体,且于管状体之外周形成有外径朝前端遂渐减小的推拔部,又于该第二中空支持体之该管状骿的端部附近设有至少一个孔。4﹒如申请专利范围第1项所述之金属管氧化处理装置,其中,于该第一中空支持体之管状体的外侧设有包覆该管状体之覆管,且使由该管状体和该覆管所形成之空间与氧化处理炉之外部连通。5﹒如申请专利范围第3项所述之金属管氧化处理装置,其中,于该第一中空支持体之管状体的外侧设有包覆该管状体之覆管且使由该管状体和该覆管所形成之空间与氧化处理炉之外部连通。6﹒如申请专利范围第2项所述之金属管氧化处理装置,其中,于该第二中空支持体之该管状体的端部附近设有至小一个孔。7﹒如申请专利范围第1.2.3.4.5或6项所述之金属管氧化处理装置,其中,藉由凸缘将第二支持体设于中空之心管的外周;同时藉由可挠性中空接头将该第二中空支持缸之排气口与该心管之中空部连接。8﹒如申请专利范围第1.2.3.4.5或6项所述之金属管氧化处理装置,其中,在心管之外周设置具有既定尺寸之缺口的护手状体。9﹒如申请专利范围第1.2.3.4.5或6项所述之金属管氧化处理装置,其特征为:将脚轮设于心管之适当位置。图示简单说明第1图至第5图系本发明之实施例,第1图系本发明之装置之一部份的侧剖视图;第2图系支持体之放大图;第3图系护手状体之正视图;第4图系显示收容顺序之侧视图;第5图系气体供给系统线路图;第6图系显示装置之漏出量与不纯物质量之关系的图表;第7图系显示由不锈钢管之气体放出量的图表;第8图及第9图系显示习知例之装置的侧剖视图。
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