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发明名称 MASTER SLICE LSI
摘要
申请公布号 JPH03127863(A) 申请公布日期 1991.05.30
申请号 JP19890266694 申请日期 1989.10.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOMOTA MICHIO;NUNOGAMI HIROYUKI
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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