发明名称 HALBLEITERANORDNUNG MIT SALICIDE-STRUKTUR SOWIE VERFAHREN UND HEIZVORRICHTUNG ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE4037699(A1) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 DE19904037699 申请日期 1990.11.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KUNISHIMA, IWAO, TOKIO/TOKYO, JP;AOYAMA, TOMONORI;SUGURO, KYOICHI, YOKOHAMA, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址