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发明名称
HALBLEITERANORDNUNG MIT SALICIDE-STRUKTUR SOWIE VERFAHREN UND HEIZVORRICHTUNG ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE4037699(A1)
申请公布日期
1991.05.29
申请号
DE19904037699
申请日期
1990.11.27
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
KUNISHIMA, IWAO, TOKIO/TOKYO, JP;AOYAMA, TOMONORI;SUGURO, KYOICHI, YOKOHAMA, JP
分类号
H01L29/78;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/49
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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