Particle beam apparatus.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahlgerät, wie Ionenstrahlgerät oder Elektronenstrahlgerät, bei dem ein Korpuskular-Primärstrahl (2) mittels einer Objektivlinse (3) auf eine Probe fokussiert wird. Die im Auftreffpunkt des Primärstrahls emittierte Sekundärstrahlung wird auf die mittlere (3b), mit Szcintillationsmaterial (5) belegte Elektrode der Objektivlinse beschleunigt und erzeugt dort Lichtpulse, die von einem lichtempfindlichen Detektor (6) in elektrische Signale umgewandelt und verstärkt werden.