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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMAGESTUETZTEN ABSCHEIDUNG ODER ABTRAGUNG DUENNER SCHICHTEN MIT ZYLINDERFOERMIGER ELEKTRODENANORDNUNG
摘要
申请公布号 DD281425(C4) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 DD19870310999 申请日期 1987.12.22
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN DIREKTORAT FORSCHUNG,DD 发明人 MOENCH,JENS-PETER,DD;SCHADE,KLAUS,DD;KOTTWITZ,ALFRED,DD;SUCHANECK,GUNNAR,DD;SCHLEUSENER,MARTIN,DD
分类号 C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/40 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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