GAS PHASE REACTOR,申请号JP19890261450-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	GAS PHASE REACTOR
摘要
申请公布号	JPH03126694(A)	申请公布日期	1991.05.29
申请号	JP19890261450	申请日期	1989.10.06
申请人	HITACHI ELECTRON ENG CO LTD	发明人	SASAKI TAKAHISA
分类号	C30B25/08;H01L21/205	主分类号	C30B25/08
代理机构		代理人
主权项
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