发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING DOPED SEMICONDUCTOR LAYERS.
摘要 Un procédé permet de fabriquer des couches semi-conductrices dopées avec une faible concentration de porteurs de charge. A cet effet, on superpose une pluralité de couches minces qui présentent alternativement des concentrations relativement élevées de porteurs de charge et un dopage nul. L'épaisseur et la concentration de porteurs de charge des couches individuelles sont calculées de sorte que la concentration moyenne de porteurs de charge dans les diverses couches soit aussi faible que l'on veut.
申请公布号 EP0428673(A1) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 EP19900908470 申请日期 1990.06.02
申请人 AIXTRON GMBH 发明人 JUERGENSEN, HOLGER
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/22;H01L21/225 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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