发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03125423(A) 申请公布日期 1991.05.28
申请号 JP19890262918 申请日期 1989.10.11
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIMARU MASATO;HAGIMURA KAZUO;KOBAYASHI TAKANOBU
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址
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