发明名称 OPTICAL DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03124072(A) 申请公布日期 1991.05.27
申请号 JP19890262721 申请日期 1989.10.06
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 OOHAYASHI TADASHI;MIZUKAMI SEISHIRO
分类号 G01J1/02;H01L27/146;H01L31/10 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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