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发明名称 CLEANING TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03124029(A) 申请公布日期 1991.05.27
申请号 JP19890261961 申请日期 1989.10.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;SUGAI:KK 发明人 UENO KINYA;KONDO HISASHI;IBUKA NARUHITO;WAKABAYASHI TAKESHI;NAKARAI MASAZUMI;YAMAGUCHI HIROSHI;KOYANAGI TETSUO;TAKETATSU TOSHIO
分类号 B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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