发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING SMALL-DIAMETER HOLE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03123841(A) |
申请公布日期 |
1991.05.27 |
申请号 |
JP19890261768 |
申请日期 |
1989.10.06 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SEIKO LTD |
发明人 |
SHIMIZU IZUMI;NAKAJIMA SEIJI |
分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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