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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03122576(A)
申请公布日期
1991.05.24
申请号
JP19890260807
申请日期
1989.10.04
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKAI IWAO
分类号
G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66;H05K13/08
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
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