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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03123034(A) 申请公布日期 1991.05.24
申请号 JP19890258761 申请日期 1989.10.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOYOSHIMA YOSHIAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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